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真空黑白直播体育nba最新版机的改造及使用同样利用一台真空室为5450mm电阻加热式蒸发黑白直播体育nba最新版机进行改造,并保留原有的蒸发装置。内装式直流磁控溅射靶。靶体内部排布一定形状的钕铁硼永磁铁,并通有冷却水,靶面溅射区的实测磁场强度为450高斯。冷却水通过黑白直播体育nba最新版机真空室底部备用孔引入真空室,并研制出特殊的水管接头使靶和冷却水管既能可靠的密封连接,又不会造成短路。真空室中安装了对基片进行加热烘烤装置,烘烤电源和溅射电源均从黑白直播体育nba最新版机真空室底板上的备用孔引入。在蒸发黑白直播体育nba最新版的基片架旋转轮圈上竖直安装了溅射黑白直播体育nba最新版用的基片架和挡板。当预溅射时挡板位于靶的对面,而溅射时接通蒸发台原有的基片旋转电源,使溅射基片架面对靶、并围绕溅射靶旋转。蒸发与溅射隔离板使得原来的真空黑白直播体育nba最新版室分隔成左右两个黑白直播体育nba最新版区域,互不影响。充气系统的设置与上述外装式磁控溅射靶的黑白直播体育nba最新版机改造相同。设备经过上述改造后,由于溅射黑白直播体育nba最新版时基片能围绕靶旋转,因而能制备出面积大、均匀性好的薄膜。
同样也可以在同一次教学实验中进行蒸发和溅射黑白直播体育nba最新版。例如进行真空镀黄铜实验,在做蒸发前,使溅射基片架置于靶的正对面,防止蒸发时污染溅射用的基片。做完蒸发后,把预溅射挡板旋转至靶的正对面,在PAr=015Pa、溅射功率为13002000W下进行预溅射,然后开启旋转机构进行基片旋转下的溅射黑白直播体育nba最新版。学生能够非常直观的根据样品颜色的不同,认识到合金蒸发的分解会导致薄膜的分层现象,而溅射黑白直播体育nba最新版基本上能使溅射膜的成份与溅射靶材的成份保持一致。